金融界2025年4月21日音讯，国家知识产权局信息数据显现，常州英诺激光科技有限公司获得一项名为“晶圆双面刻蚀重合度检测设备”的专利，授权公告号CN222775274U，请求日期为2024年4月。

  专利摘要显现，本实用新型归于技能领域，详细触及一种晶圆双面刻蚀重合度检测设备。本设备包含：箱体；横移组织，设置在箱体内，其上设置有旋转载具；所述旋转伸出箱体上盖，用于吸附晶圆；榜首查验测验的组织，设置在箱体上方，用于检测晶圆正面的MARK点；第二查验测验的组织，设置在箱体内，用于检测晶圆不和的MARK点。本请求的晶圆双面刻蚀重合度检测设备包含设置在横移组织上的旋转载具能够适用于吸附晶圆，而且横移组织能够带动旋转载具移动，旋转载具能够带动晶圆滚动，极大的方便了边际MARK点的检测；榜首查验测验的组织和第二查验测验的组织能够一起检测晶圆正不和边际MARK点，然后便于检测晶圆双面刻蚀重合度，提高了检测功率。

  天眼查资料显现，常州英诺激光科技有限公司，成立于2011年，坐落常州市，是一家以从事计算机、通讯和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本21000万人民币。经过天眼查大数据分析，常州英诺激光科技有限公司参加招投标项目23次，产业线条，此外企业还具有行政许可8个。

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